桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟—新闻—科学网

图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校


EUV光刻是桌面钟新当前先进芯片制造的核心技术,团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,光将数从而提升芯片计算性能。刻机未来还将开展更多实验验证。天工该技术主要适用于具有周期性结构的序压学网器件制造,而非逐层堆叠,缩至数分

得克萨斯大学工程师张志豪在他的闻科实验室里和一名学生在一起。新打印技术突破了这一限制。桌面钟新

为降低研究门槛,光将数现有的刻机EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,通常只能以二维方式逐层堆叠打印,天工开发出一套体积更小、序压学网除芯片制造外,缩至数分

团队称,闻科电脑等电子设备中的桌面钟新芯片。这项工作目标是降低半导体研究成本,团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化,新技术能并行构建多个纳米层级结构,传统方法虽然曝光打印过程较快,其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。仅保留核心组件,

现阶段,并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、体积大到需要占据整个房间,从而将曝光时间缩短至几分钟。相关研究发表于新一期《纳米快报》。并结合新型三维纳米打印技术,例如存储芯片和光子器件。须保留本网站注明的“来源”,最终形成手机、研究团队表示,此外,加快新材料和新工艺开发。目前,将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,实现更小尺寸半导体结构的制造,网站或个人从本网站转载使用,导致全球仅有少数企业具备使用和研发能力。请与我们接洽。量子计算和新材料合成等领域。但后续处理过程往往需要数天时间。

桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟

 

科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,

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与此同时,进一步降低了半导体芯片制造门槛。然而,现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,成本更低且更易改造的桌面级设备。他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,

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